【招标结果】等离子体清洗器项目中标公示表

所属地区:江西南昌市 发布日期:2026-10-22

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基本信息

地区 江西 南昌市 采购单位 江西师范大学化学与材料学院
招标代理机构 项目名称 江西师范大学化学与材料学院采购等离子体清洗器项目
采购联系人 *** 采购电话 ***

中标信息

中标单位 广东省帆泽国际贸易有限公司 中标金额 ***
联系方式 ***
等离子体清洗器项目中标公示表
申购单位(盖章):化学与材料学院
时间:
2026.10.21

项目名称

江西师范大学化学与材料学院采购等离子体清洗器项目

采购预算

***

采购需求
(品牌
/型号及技术参数或服务内容等)

1、仪器名称:等离子体清洗器
1.1、主要用途:硅片清洗
1.2、工作条件:40-80%RH,环境温度:5-40℃,适用电源: 220V±10%;50Hz;
2、技术指标
2.1、
舱体容积
:
≥
5?L
2.2、射频电源频率:
13.56?MHz
2.3、
射频功率
:
0
~
300?W
2.4、
真空泵抽速
:
≥
2
m
3
/
h
2.5、
工作真空度
:
≤
100 P
a
3、技术参数
3.1、5寸彩色触摸屏操作界面。
3.2、具备手动、自动两种工作模式。
3.3、微电脑控制清洗全过程,支持全自动运行。
3.4、气路标配双气路,最大可扩展至四气路,浮子流量计手动调节。
3.5、属于非破坏性分子级表面清洗设备,可去除样品表面有机污染物。
3.6、
具备气压阈值安全保护,超阈值自动切断高压
。
3.7、清洗介质为工艺气体,可避免样品二次污染。
3.8、采用平行等离子激发板,电容式等离子激发。
3.9、样品腔支持多层样品盘,样品盘高度可分阶调节放置。
4、基本配置:主机(触摸显示屏)、电源线、说明书、合格证、真空泵

询价供应商
名称及报价

1

广东省帆泽国际贸易有限公司

***元

2

江西博和科技有限公司

44600元

3

江西德慧科技有限公司

42680元

成交供应商
信息

单位名称

广东省帆泽国际贸易有限公司

成交价格

***元

联系人

***

联系电话

***

公示时间
(不少于
1个工作日)

自
2026年10月21日至2026年10月22日

采购工作小组成员名单

李平华
丁立稳
苗龙飞
张天锦

招标采购中心监管电话

0791-88120215

备注

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